Primus-HS 422/MGH 422
主要功能
● 采用經(jīng)典十字工作臺結構,Z軸獨立,保證了設備的高精度;
● 三軸都采用“燕尾”式導軌結構,精密預載荷氣浮導軌,確保了設備精度穩(wěn)定性;
● 三軸都采用花崗巖材料,提高了設備的精度穩(wěn)定性;
● 采用增加柔性機構的滾珠絲杠驅動,保證足夠驅動力同時減小了誤差;
● ≤0.05μm的光柵尺分辨率,為設備提供精密測量的保證;
● 具有恒溫功能的一體化防護罩殼,使得設備在不同外加環(huán)境下具備更高的精度;
● 支持多種測頭系統(tǒng)。
相關參數(shù)及技術指標
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機型 |
測量范圍( mm) |
分辨率(μm) |
示值誤差E(μm) |
工作臺最大承重( kg) |
機器重量( kg) |
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Dx |
Dy |
Dz |
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Primus-HS 422 |
400 |
200 |
200 |
0.02 |
0.5+L/1000起 |
20 |
600 |
相關產(chǎn)品
售后服務
提供專業(yè)且高效的售后服務
確保設備的穩(wěn)定運行和客戶的滿意度
