
TD系列多測(cè)力測(cè)頭系統(tǒng)
產(chǎn)品概述
TD系列多測(cè)力測(cè)頭采用行業(yè)通用接口設(shè)計(jì),精度高、適配性好,可自動(dòng)更換。
相關(guān)參數(shù)及技術(shù)指標(biāo)
精度指標(biāo) | ? | ? |
參數(shù) | 測(cè)頭模塊類型 | |
DM2 | ±0.8μm | |
單向重復(fù)性(2δ) | 0.35μm | ±0.8μm |
2D(XY)測(cè)量誤差 | ±0.8μm | ±0.8μm |
相關(guān)產(chǎn)品
售后服務(wù)
提供專業(yè)且高效的售后服務(wù)
確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和客戶的滿意度